1 低损伤密度高精度超光滑强光光学元件研制
本课题组长期关注于高功率激光应用背景的光学元器件研发,形成了独具特色的光学加工工艺,研制的融石英、单晶硅、白宝石等材质的高性能光学元件受到国内相关单位的一致好评。
2 超光滑柱面镜研制
面对激光整形需求,本课题组可研制优于衍射极限的融石英或单晶硅材质的超光滑柱面镜,曲率半径误差控制在±1‰。
3 复杂形貌光学元件成形技术研究
本课题组具有先进的数控铣磨中心、激光定心磨边机以及高精度数控雕刻中心等成形加工设备,可以定制化研制特殊复杂形貌的功能型光学器件。
4 计算机控制光学表面成形技术
基于普林斯顿理论,开展计算机控制光学表面成形技术研究,建立了相应的数学模型,确定去除函数及驻留时间函数,对各工艺阶段的低、中、高频误差及边缘效应进行抑制。非球面制造能力覆盖极小和极大范围,通光口径11mm-560mm(对角线尺寸)。
小口径非球面实物及测试数据,rms<1/60λ(λ=632.8nm)
大口径非球面实物寸(411X388mm)
5 超光滑光学元件工艺研究
对抛光机理进行深入分析,在保证高面形精度的前提下,实现了低亚表面损伤及高表面质量的工艺研究。
表面粗糙度rms0.66nm
6 自由曲面光学元件工艺研究
开展复合曲面、柱面非球面及离轴非球面工艺研究。
柱面非球面实物图及测试数据
7 光学元件表面微纳结构的设计与制
利用胶体球自组装、光刻、反应离子刻蚀、离子束刻蚀等技术在光学元件表面设计并制备微纳结构,使其具备特殊光学性能,提高光学元件质量。