1 白光扫描干涉测量（SWLI）

该方法是一种非接触的测量方式，通过干涉条纹，来比较样品测试表面跟理想参考面的偏差。主要用于光学元件表面粗糙度、台阶高度测量。

2 轮廓形状测量

用于平面、球面、非球面光学元件研磨及抛光阶段的面形测量及球面光学元件的曲率半径测量。

3 子孔径拼接干涉仪多波长激光干涉技术（MWLI）

实现对旋转对称光学元件（球面、非球面）表面面形高精度扫描拼接测量。

4 大口径平面光学元件的测量

利用斐索干涉仪对平面反射镜、透镜等大口径平面光学元件的面形进行高精度测量。

5 反射光学元件高反射率的测量

光腔衰荡法（Cavity ring-down，CRD）是一种基于高精细度光学谐振腔的高灵敏度光学检测技术，该技术是目前唯一能够测量超高反射率的方法，具有不受光源波动影响、测量精度高、绝对测量等优点。利用该技术研制搭建的高反射率测量仪主要用于反射光学元件高反射率的测量。

6 光学材料的弱热吸收参数测量

利用光热弱吸收测量仪对光学材料和薄膜的弱热吸收参数进行高精度测量表征。

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