微纳光学技术

作者: 时间:2020-06-16 点击数:

光学元件表面微纳结构的设计与制备,利用胶体球自组装、光刻、反应离子刻蚀、离子束刻蚀等技术在光学元件表面设计并制备微纳结构,使其具备特殊光学性能,提高光学元件质量。

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